没有EUV光刻机器可以完成5nm:3nm也在发育中

Kuai Technology在6月2日取消了该问题。我们说,如果没有EUV光刻机器,就可以完成5nm。几个小时前,全球5nm的“特别”新闻。该5NM采用了完全不同的技术路线,避免了EUV光刻引擎的希望,并采用了逐步的阶级光刻机器,通过许多曝光来实现5nm的线路宽度。然后,如果没有EUV光刻机器,是否有3NM的机会?最新报告指出,这个5NM品牌仍计划使用3NM技术流程启动AP(应用程序处理器),目的是在2025年推出。芯片使用全方位(GAA)技术来有效地降低当前泄漏并提高性能。这是TSMCAND三星在高级流程中采用的基本技术。但是,该计划面临着重要的挑战。市场通常会在谈论这是否可以做到。以前,他们使用深层紫外线(DUV)曝光机使用许多曝光来实现MAS5 NM过程的生产。市场认为,在3NM仪表过程中可以采用类似的方法。但是,与EUV相比,使用DUV的多种暴露方式显着增加了过程步骤,这不可避免地导致产量和生产力降低。因此,将来的主要问题将取决于您是否可以处理EUV光刻机器。 [本文的结尾]如果您需要打印,请确保指示来源:Kuai技术编辑:Chaohui